• 
• 
• 
• 
• 

Тетрафторид углерода CAS 75-73-0

Тетрафторид углерода является наиболее широко используемым плазменным газом для гравировки свечей в микроэлектронной промышленности. Он представляет собой смесь газа высокой чистоты и газа тетрафторида углерода высокой чистоты с кислородом высокой чистоты....

Время выпуска：2025-04-25

• 
• 
• 
• 
• 
• 

Тетрафторид углерода CAS 75-73-0

Наименование продукта: Тетрафторид углерода Тетрафторметан Перфторуглерод

Класс продукта: Аналитический класс

Чистота продукта: 99,999%

Спецификация упаковки: 40L

Китайское имя: 五

Китайский псевдоним: 五

CAS: 75-73-0

EINECS: 200-896-5

Молекулярная формула: CF4

Молекулярная масса: 88

Физико-химические свойства:-Точка плавления: -184 ℃

Тетрафторид углерода является наиболее широко используемым плазменным газом для гравировки свечей в микроэлектронной промышленности. Это смесь газа высокой чистоты и газа тетрафторида углерода высокой чистоты с кислородом высокой чистоты.

1. Он может широко использоваться в гравировке свечей кремния, диоксида кремния, нитрида кремния, фосфорного кремниевого стекла и тонкопленочных материалов вольфрама. Для систем кремния и диоксида кремния при использовании CF4-H2 реактивного ионного травления путем регулировки соотношения двух газов можно получить селективность 45:1, что очень полезно при травлении пленок диоксида кремния на поликремниевых затворах.

2. Он также широко используется в очистке поверхностей электронных устройств, производстве солнечных элементов, лазерной технике, изоляции газовой фазы, низкотемпературном охлаждении,

агенте обнаружения утечек, контроле положения космической ракеты и дезинфицирующем агенте при производстве печатных схем.

3. Благодаря своей чрезвычайно высокой химической стабильности, CF4 также может использоваться в металлургической и пластмассовой промышленности.

4. Тетрафторид углерода обладает хорошей растворимостью в кислороде, поэтому он используется учеными для замены обычного сжатого воздуха в экспериментах со сверхглубоким погружением. Он был успешно использован на мышах, и мыши все еще могут безопасно бежать на глубину от 275 до 366 метров.

• Предыдущий: Электронный класс Тетрафторид углерода CF4 99,999%
• Далее: Тетрафторид серы SF4