• 
• 
• 
• 
• 

КФ4

Тетрафторид углерода CF4 является источником фтора и фторида углерода свободных радикалов, используемого в различных процессах травления пластин. Тетрафторид углерода CF4 в сочетании с кислородом травит поликремний, диоксид кремния и нитрид кремния. Тетрафторид углерода является относительно инертным в нормальных условиях......

Время выпуска：2025-04-25

• 
• 
• 
• 
• 
• 

Тетрафторид углерода CF4 является источником фтора и свободного радикала фторида углерода, используемого в различных процессах травления пластин. Тетрафторид углерода CF4 в сочетании с кислородом травит поликремний, диоксид кремния и нитрид кремния. Тетрафторид углерода относительно инертен в нормальных условиях и может вызвать удушье в невентилируемых помещениях. В среде радиочастотной плазмы свободные радикалы фтора появляются в виде типичного трифторида углерода или дифторида углерода. Тетрафторид углерода высокой чистоты может хорошо контролировать процесс обработки, так что размер и форму можно лучше контролировать. Это отличается от других галогенуглеродов, которые не способствуют различным специальным средствам управления (таким как контроль анизотропии полупроводников), когда они сталкиваются с воздухом или кислородом. Его высокочистый газ и смесь высокочистого газа тетрафторида углерода и высокочистого катиона кислорода могут широко использоваться при травлении свечей кремния, диоксида кремния, нитрида кремния, фосфорного кремниевого стекла и тонкопленочных материалов вольфрама.

Тетрафторид углерода CF4 оказывает обезболивающее действие при высоких концентрациях. Его высокочистый газ и его смесь с кислородом высокой чистоты являются наиболее широко используемыми газами для плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Они также могут использоваться в качестве низкотемпературных хладагентов и низкотемпературных изоляционных сред. Он обладает хорошей химической и термической стабильностью, инертен ко многим реагентам и не гидролизируется при 1000 ° C. Он не реагирует с медью, никелем и вольфрамом при комнатной температуре. Из-за чрезвычайно сильной химической стабильности C-F связи перфторуглероды, представленные CF4, можно считать в основном нетоксичными.

Тетрафторметан (CF4) обладает высокой стабильностью и является полностью невоспламеняющимся газом. Он не реагирует с кислотами, щелочами и окислителями при комнатной температуре, не реагирует с переходными металлами, такими как Cu, Ni, W и Mo ниже 900 ° C, и не реагирует с углеродом, водородом и CH4 ниже 1000 ° C. Оно может прореагировать с жидкостными реагентами металла амиак-натрия на комнатной температуре, и КФ4 может прореагировать с металлами алкалиа, металлами щелочи, и СиО 2 на высоких температурах для генерации соответствуя фторидов. CF4 начинает разлагаться при 800 °C и может реагировать с CO и CO2 с образованием COF2 под действием электрической дуги. Некоторые люди также пытались полимеризировать CF4 при температурах углеродной дуги для синтеза других фторуглеродов.

• Предыдущий: Газ CF4
• Далее: 99,999% 5N Тетрафторид углерода CF4